掃描電子顯微鏡的優(yōu)勢(shì)為可以直接觀察非常粗糙的樣品表面，參差起伏的材料原始斷口。但其劣勢(shì)為樣品必須在真空環(huán)境下觀察，因此對(duì)樣品有一些特殊要求,籠統(tǒng)的講：干燥,無(wú)油,導(dǎo)電.

　　掃描電子顯微鏡的操作流程

　　(1) 放樣品：

　　點(diǎn)擊Vent放氣后緩慢打開樣品室，將樣品用導(dǎo)電膠固定在載物臺(tái)上，為了能在電鏡下快速準(zhǔn)確地找到樣品的像，可提前對(duì)樣品進(jìn)行標(biāo)記，樣品放好后關(guān)緊樣品室的門，否則可能會(huì)影響抽真空的效果；

　　(2) 調(diào)整樣品的位置：

　　長(zhǎng)按鼠標(biāo)中鍵即顯示指向箭頭，向上拖動(dòng)箭頭升高樣品臺(tái)至10mm處， 點(diǎn)擊屏幕右側(cè)coordinates將Z軸鎖死；(操作熟練者也可以直接輸入樣品坐標(biāo)，新手不建議因?yàn)閷?duì)位置判斷不準(zhǔn)確可能會(huì)撞壞鏡頭)

　　(3) 抽真空：

　　點(diǎn)擊PUMP抽真空至<10-3Pa(真空度由儀器性能決定)；

　　(4) 發(fā)射電子束：

　　待真空度滿足要求后點(diǎn)擊Beam on 加高壓打電子束至樣品表面；

　　(5) 觀察：

　　v模式選擇：SE(二次電子)和BSE(背散射電子)是掃描電鏡成像的基礎(chǔ)信號(hào)，掃描電鏡提供二次電子(SE)和背散射電子(BSE)兩種模式供使用者選擇，二者區(qū)別是：二次電子能量低，主要反映試樣表面厚度為50~100Å的形貌特征，背散射電子比二次電子能量高，分辨率差，背散射電子的信號(hào)強(qiáng)度隨原子序數(shù)的增大而增強(qiáng)，背散射電子反映試樣表面50-200nm深度的試樣的成分分布形貌，使用者在選擇時(shí)可以根據(jù)樣品特征選擇適合的拍照模式；

　　調(diào)焦：使用鼠標(biāo)右鍵在高倍下調(diào)焦，調(diào)焦過(guò)程中先大幅度調(diào)節(jié)確定調(diào)整方向，然后微調(diào)獲得最清晰的像；

　　改善圖片質(zhì)量：可以通過(guò)點(diǎn)擊Stigmator進(jìn)行色散校正，Beam shift進(jìn)行光束漂移校正以及調(diào)對(duì)比度和亮度獲得符合要求的照片；

　　拍照：點(diǎn)擊Image Acqusition進(jìn)行拍照，低倍下看全貌，高倍下看細(xì)節(jié)，拍照時(shí)可以設(shè)置拍照時(shí)間，建議低倍下可以快速拍，高倍下拍照速度過(guò)快會(huì)影響圖片質(zhì)量，將照片命名好并保存在自己想要的位置；

　　(6) 取樣：

　　點(diǎn)擊Beam on 關(guān)閉電子束；

　　解鎖Z軸，將樣品臺(tái)調(diào)至原位，可點(diǎn)擊Stage-home stage自動(dòng)歸位，也可手動(dòng)拖動(dòng)鼠標(biāo)中鍵調(diào)節(jié)；

　　點(diǎn)擊Vent放氣后取樣，取樣后點(diǎn)擊PUMP抽真空至<10-3Pa保證樣品室處于真空狀態(tài)；